La0.7Sr0.3MnO3 suspended microbridges for uncooled bolometers made using reactive ion etching of the silicon substrates
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | MNE2012 (38th International Micro & Nano Engineering Conference) |
| Author | Liu, Shuang, Guillet, Bruno, Aryan, Ammar, Adamo, Carlo, Fur, Cédric, Routoure, Jean-Marc, Lemarié, Franck, Schlom, D.G., Méchin, Laurence |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 5, 2026, 15:14 (UTC) |
| Created | May 5, 2026, 15:14 (UTC) |
| Identifier | hal-00977471 |
| Language | en |
| Rights | https://about.hal.science/hal-authorisation-v1/ |
| contributor | Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072 ; Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (GREYC) ; Université de Caen Normandie (UNICAEN) ; Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN) ; Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN) ; Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN) ; Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| coverage | Toulouse, France |
| creator | Liu, Shuang |
| date | 2012-09-16T00:00:00 |
| harvest_object_id | 2a478e9c-8ab9-43c7-b0d0-71cc590caa18 |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-08-12T00:00:00 |
| set_spec | type:COMM |