Pattern density multiplication by direct self assembly of block copolymers: Towards 300mm CMOS requirements
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Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | ISSN: 0277-786X |
| Author | Tiron, Raluca, Chevalier, Xavier, Gaugiran, Stéphanie, Pradelles, J., Fontaine, H., Couderc, C., Pain, L., Navarro, Christophe, Chevolleau, T., Cunge, Gilles, Delalande, M., Fleury, Guillaume, Hadziioannou, Georges |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 11, 2026, 08:13 (UTC) |
| Created | May 11, 2026, 08:13 (UTC) |
| Identifier | hal-00817408 |
| Language | en |
| contributor | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI) ; Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) |
| creator | Tiron, Raluca |
| date | 2012-03-21T00:00:00 |
| harvest_object_id | 9a5c45ed-2c51-4415-a399-730f225c8774 |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2026-04-02T00:00:00 |
| relation | info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1117/12.916400 |
| set_spec | type:ART |