Epitaxial PZT thin films on YSZ-buffered Si (001) substrates for piezoelectric MEMS or NEMS applications
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | ISSN: 1757-8981 |
| Author | Jorel, Corentin, Colder, Héloïse, Galdi, Alice, Méchin, Laurence |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 11, 2026, 11:28 (UTC) |
| Created | May 11, 2026, 11:28 (UTC) |
| Identifier | hal-00813970 |
| Language | en |
| Rights | https://about.hal.science/hal-authorisation-v1/ |
| contributor | Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072 ; Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (GREYC) ; Université de Caen Normandie (UNICAEN) ; Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN) ; Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN) ; Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN) ; Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| coverage | Strasbourg, France |
| creator | Jorel, Corentin |
| date | 2012-05-14T00:00:00 |
| harvest_object_id | c522618b-866e-461a-8188-cb07f47c5de5 |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-02-08T00:00:00 |
| relation | info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1088/1757-899X/41/1/012012 |
| set_spec | type:COMM |