New electrostatically excited Silicon resonator vibrating in a thickness extensional mode
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | Acoustics 2012 Nantes |
| Author | Ballandras, Sylvain, Evan, Mihaela, Dulmet, Bernard, Martin, Gilles, Baron, Thomas |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 11, 2026, 14:08 (UTC) |
| Created | May 11, 2026, 14:08 (UTC) |
| Identifier | hal-00811246 |
| Language | en |
| Rights | https://about.hal.science/hal-authorisation-v1/ |
| contributor | Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST) ; Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC) ; Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC) |
| coverage | Nantes, France |
| creator | Ballandras, Sylvain |
| date | 2012-04-23T00:00:00 |
| harvest_object_id | f12017e4-e5b0-4986-ae84-043e6539d68c |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-02-18T00:00:00 |
| set_spec | type:COMM |