PMN-PT (lead magnesium niobate-lead titanate) piezoelectric material micromachining by excimer laser ablation and dry etching (DRIE).
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | ISSN: 0924-4247 |
| Author | Ivan, Ioan, Alexandru, Agnus, Joël, Lambert, Pierre |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 13, 2026, 08:42 (UTC) |
| Created | May 13, 2026, 08:42 (UTC) |
| Identifier | hal-00797920 |
| Language | en |
| Rights | https://about.hal.science/hal-authorisation-v1/ |
| contributor | Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST) ; Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Marie et Louis Pasteur (UMLP) ; Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC) |
| creator | Ivan, Ioan, Alexandru |
| date | 2012-05-13T00:00:00 |
| harvest_object_id | abe95df9-a657-4328-af6d-9924ab4035eb |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2026-05-13T00:00:00 |
| relation | info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1016/j.sna.2011.09.015 |
| set_spec | type:ART |