Plasma material surface investigation in a nitriding process of thin molybdenum films using an expanding (Ar-NH2-H2) plasma
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Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | ISSN: 1114-3800 |
| Author | Touimi, Said, Jauberteau, Isabelle, Jauberteau, Jean-Louis, Weber, Sébastien J., Bessaudou, Annie, Passelergue, Armand, Aubreton, Jacques |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 15, 2026, 17:47 (UTC) |
| Created | May 15, 2026, 17:47 (UTC) |
| Identifier | hal-00708486 |
| Language | en |
| contributor | Axe 2 : procédés de traitements de surface ; Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS) ; Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM) ; Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM) ; Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| creator | Touimi, Said |
| date | 2011-05-15T00:00:00 |
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| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2024-06-04T00:00:00 |
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