Selective nucleation in silicon moulds for diamond MEMS fabrication

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Source ISSN: 0960-1317
Author Bongrain, Alexandre, Scorsone, Emmanuel, Rousseau, Lionel, Lissorgues, Gaelle, Bazin, Gesset, Celine, Saada, Samuel, Bergonzo, Philippe
Maintainer CCSD
Last Updated May 20, 2026, 08:22 (UTC)
Created May 20, 2026, 08:22 (UTC)
Identifier hal-00692940
Language en
Rights https://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/
contributor Laboratoire Capteurs Diamant (CEA, LIST) (LCD (CEA, LIST)) ; Département Métrologie Instrumentation & Information (CEA, LIST) (DM2I (CEA, LIST)) ; Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies (LIST (CEA)) ; Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay-Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies (LIST (CEA)) ; Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay
creator Bongrain, Alexandre
date 2009-07-20T00:00:00
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metadata_modified 2026-05-13T00:00:00
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