Techniques Lithographiques par Microscopie à Sonde Locale

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Field Value
Source Techniques de Lithographie pour la micro−électronique
Author Bouchiat, Vincent
Maintainer CCSD
Last Updated May 5, 2026, 10:19 (UTC)
Created May 5, 2026, 10:19 (UTC)
Identifier ISBN: 9782746224469
Language fr
contributor Interactions modulables dans des états quantiques 2D (NEEL - Quan2m) ; Institut Néel (NEEL) ; Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
creator Bouchiat, Vincent
date 2010-05-05T00:00:00
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metadata_modified 2025-09-27T00:00:00
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