Double-Height Accurate Micro-Molding Method for Three-Dimensional PDMS Structures

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Source ISSN: 0021-4922
Author Denoual, Matthieu, Laurent, Griscom, Hiroshi, Toshiyoshi, Hiroyuki, Fujita
Maintainer CCSD
Last Updated May 5, 2026, 13:06 (UTC)
Created May 5, 2026, 13:06 (UTC)
Identifier hal-00983653
Language en
contributor Bio-MIcroSystèmes et BioSensors (SATIE-BIOMIS) ; Systèmes d'Information et d'Analyse Multi-Echelles (SATIE-SIAME) ; Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie (SATIE) ; École normale supérieure - Cachan (ENS Cachan)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Institut Français des Sciences et Technologies des Transports, de l'Aménagement et des Réseaux (IFSTTAR)-École normale supérieure - Rennes (ENS Rennes)-Université de Cergy Pontoise (UCP) ; Université Paris-Seine-Université Paris-Seine-Conservatoire National des Arts et Métiers [Cnam] (Cnam)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École normale supérieure - Cachan (ENS Cachan)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Institut Français des Sciences et Technologies des Transports, de l'Aménagement et des Réseaux (IFSTTAR)-École normale supérieure - Rennes (ENS Rennes)-Université de Cergy Pontoise (UCP) ; Université Paris-Seine-Université Paris-Seine-Conservatoire National des Arts et Métiers [Cnam] (Cnam)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie (SATIE) ; École normale supérieure - Cachan (ENS Cachan)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Institut Français des Sciences et Technologies des Transports, de l'Aménagement et des Réseaux (IFSTTAR)-École normale supérieure - Rennes (ENS Rennes)-Université de Cergy Pontoise (UCP) ; Université Paris-Seine-Université Paris-Seine-Conservatoire National des Arts et Métiers [Cnam] (Cnam)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École normale supérieure - Cachan (ENS Cachan)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Institut Français des Sciences et Technologies des Transports, de l'Aménagement et des Réseaux (IFSTTAR)-École normale supérieure - Rennes (ENS Rennes)-Université de Cergy Pontoise (UCP) ; Université Paris-Seine-Université Paris-Seine-Conservatoire National des Arts et Métiers [Cnam] (Cnam)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
creator Denoual, Matthieu
date 2003-05-05T00:00:00
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harvest_source_title test moissonnage SELUNE
metadata_modified 2026-02-07T00:00:00
relation info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1143/JJAP.42.4598
set_spec type:ART