Metrology of micro-optical components quality using direct measurement of 3D Intensity Point Spread Function
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | https://hal.science/hal-00982942 |
| Author | Perrin, Stéphane, Baranski, Maciej, Passilly, Nicolas, Froehly, Luc, Albero Silvestre, Jorge, Bargiel, Sylwester, Gorecki, Christophe |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 5, 2026, 13:20 (UTC) |
| Created | May 5, 2026, 13:20 (UTC) |
| Identifier | hal-00982942 |
| Language | en |
| contributor | Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST) ; Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC) ; Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC) |
| creator | Perrin, Stéphane |
| date | 2014-01-01T00:00:00 |
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| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-12-11T00:00:00 |
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