Réalisation de capacités interdigitées à partir de filmes minces ferroélectriques dans le domaine de fréquence RF et millimétrique

Dans cet article, nous décrivons la conception et la caractérisation de capacités interdigitées réalisées à partir de films minces ferroélectriques. Après une caractérisation structurale puis diélectrique du film de Ba0.3Sr0.7TiO3 jusqu'à 67 GHz, la conception des capacités interdigitées (IDC) nous a permis de conclure que celles-ci présentent une accordabilité de 35% à 5GHz et 32 % à 67 GHz sous 150 kV / cm.