Step-conformal deposition of TiO2 and MnO2 electrodes on advanced silicon microstructures for 3D Li-ion microbatteries and micro-supercapacitors
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2014 |
| Author | Eustache, Étienne, Douard, Camille, Tilmant, Pascal, Morgenroth, Laurence, Roussel, Pascal, Brousse, Thierry, Lethien, Christophe |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 5, 2026, 15:33 (UTC) |
| Created | May 5, 2026, 15:33 (UTC) |
| Identifier | hal-00976637 |
| Language | en |
| contributor | Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF) |
| coverage | Lille, France |
| creator | Eustache, Étienne |
| date | 2014-05-05T00:00:00 |
| harvest_object_id | beb873e6-e62e-42fe-9783-64904e8e451d |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2026-02-09T00:00:00 |
| set_spec | type:COMM |