In situ spectroscopic ellipsometry study of TiO2 films deposited by plasma enhanced chemical vapour deposition
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Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | ISSN: 0169-4332 |
| Author | Li, D., Carette, Michèle, Granier, Agnès, A., P. Landesman, J., Goullet, Antoine |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 5, 2026, 16:10 (UTC) |
| Created | May 5, 2026, 16:10 (UTC) |
| Identifier | hal-00974975 |
| Language | en |
| contributor | Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN) ; Université de Nantes - UFR des Sciences et des Techniques (UN UFR ST) ; Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Ecole Polytechnique de l'Université de Nantes (EPUN) ; Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| creator | Li, D. |
| date | 2013-05-05T00:00:00 |
| harvest_object_id | 8b944b4a-8f8d-473b-91e7-16c014e884d9 |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2024-04-11T00:00:00 |
| relation | info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1016/j.apsusc.2013.06.091 |
| set_spec | type:ART |