Setting of microtechnology tutorials using surface micromachining
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | https://hal.science/hal-00963651 |
| Author | Salaün, Anne-Claire, Kotb, H.E., Mohammed-Brahim, Tayeb, Le Bihan, France, Coulon, Nathalie, ., Lhermite, Hervé, Bonnaud, Olivier |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 5, 2026, 22:06 (UTC) |
| Created | May 5, 2026, 22:06 (UTC) |
| Identifier | hal-00963651 |
| Language | en |
| contributor | Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR) ; Université de Nantes (UN)-Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| creator | Salaün, Anne-Claire |
| date | 2002-05-06T00:00:00 |
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| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-12-08T00:00:00 |
| set_spec | type:OTHER |