Microcrystalline silicon gauges on flexible substrates for high deformations with high spatial resolution

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Source 2013 Seventh International Conference on Sensing Technology (ICST)
Author Kervran, Yannick, Janfaoui, Sabri, de Sagazan, Olivier, Crand, Samuel, Coulon, Nathalie, ., Gauthier, Jean-Philippe, Mohammed-Brahim, Tayeb
Maintainer CCSD
Last Updated May 6, 2026, 03:54 (UTC)
Created May 6, 2026, 03:54 (UTC)
Identifier hal-00955098
Language en
Rights https://about.hal.science/hal-authorisation-v1/
contributor Dispositifs Electronique (DE) ; Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR) ; Université de Nantes (UN)-Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Nantes (UN)-Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
coverage Wellington, New Zealand
creator Kervran, Yannick
date 2013-12-03T00:00:00
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harvest_source_title test moissonnage SELUNE
metadata_modified 2025-12-09T00:00:00
relation info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1109/ICSensT.2013.6727724
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