Optimization of block copolymer self-assembly through graphoepitaxy: A defectivity study

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Source ISSN: 0022-5355
Author Tiron, Raluca, Chevalier, Xavier, Couderc, Christophe, Pradelles, Jonathan, Bustos, Jessy, Pain, Laurent, Navarro, Christophe, Magnet, Stéphanie, Fleury, Guillaume, Hadziioannou, Georges
Maintainer CCSD
Last Updated May 6, 2026, 06:17 (UTC)
Created May 6, 2026, 06:17 (UTC)
Identifier hal-00951472
Language en
contributor Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI) ; Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
creator Tiron, Raluca
date 2011-11-01T00:00:00
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metadata_modified 2026-01-22T00:00:00
relation info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1116/1.3659714
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