Gravure de nanostructures sub-10nm à travers des masques de copolymères à blocs à l'aide de plasmas pulsés
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Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | Journées du réseau plasma froid |
| Author | Bézard, P., Cunge, G., Delalande, M., Tiron, R., Gharbi, A., Chevalier, X. |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 6, 2026, 07:24 (UTC) |
| Created | May 6, 2026, 07:24 (UTC) |
| Identifier | hal-00949964 |
| Language | fr |
| contributor | Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM) ; Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| coverage | la rochelle, France |
| creator | Bézard, P. |
| date | 2013-10-14T00:00:00 |
| harvest_object_id | 0912721d-badd-4b70-9ac8-819b39dbdf97 |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-09-27T00:00:00 |
| set_spec | type:COMM |