Mise en œuvre du procédé de dépôt chimique en phase vapeur pour la synthèse de couches minces d'oxyde de titane par torche plasma-micro-onde (TIA) à la pression atmosphérique
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | 3ème Colloque Francophone Pluridisciplinaire sur les Matériaux, l'Environnement et l'Electronique (PLUMEE) |
| Author | Gazal, Y., Dublanche-Tixier, Christelle, Chazelas, Christophe, Tristant, Pascal |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 6, 2026, 07:45 (UTC) |
| Created | May 6, 2026, 07:45 (UTC) |
| Identifier | hal-00949370 |
| Language | en |
| contributor | Axe 2 : procédés de traitements de surface ; Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS) ; Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM) ; Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM) ; Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| coverage | Bacau, Romania |
| creator | Gazal, Y. |
| date | 2013-05-22T00:00:00 |
| harvest_object_id | 844d3ba0-d91f-4a9e-8341-2e9d98d7a7d5 |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2024-04-11T00:00:00 |
| set_spec | type:COMM |