Physical vapor partial filtering for chemical composition control in hybrid PECVD/EB-PVD process
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | 40th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin films (ICMCTF) |
| Author | Jaoul, Cédric, Meunier, Frédéric, Tristant, Pascal, Lavoute, J.P., Laborde, Etienne, Dublanche-Tixier, Christelle |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 6, 2026, 07:47 (UTC) |
| Created | May 6, 2026, 07:47 (UTC) |
| Identifier | hal-00949365 |
| Language | en |
| contributor | Axe 2 : procédés de traitements de surface ; Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS) ; Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM) ; Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM) ; Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| coverage | San Diego, United States |
| creator | Jaoul, Cédric |
| date | 2013-04-29T00:00:00 |
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| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2024-04-11T00:00:00 |
| set_spec | type:COMM |