Passivation Al2O3 par ALD sur p-Si Cz

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Field Value
Source 3èmes Journées Nationales du Photovoltaïque, JNPV 2013
Author Pawlik, M., Vilcot, Jean-Pierre, Halbwax, Mathieu, Gauthier, M., Le Quang, N.
Maintainer CCSD
Last Updated May 7, 2026, 03:40 (UTC)
Created May 7, 2026, 03:40 (UTC)
Identifier hal-00940902
Language fr
contributor Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
coverage Dourdan, France
creator Pawlik, M.
date 2013-05-07T00:00:00
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metadata_modified 2026-03-23T00:00:00
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