Procédé de gravure d'une structure (1) comprenant au moins un matériau à graver (4), comprenant : - choisir au moins une espèce chimique apte à réagir avec le matériau à graver (4), - choisir au moins un composé soluble apte à libérer l'espèce chimique précitée, - réaliser une solution (11) contenant ledit composé, - placer la structure (1) dans une position telle que la surface du matériau à graver soit en présence de la solution et de bulles additionnelles d'un gaz, - et produire dans la solution des ultrasons à haute fréquence, à au moins une fréquence, apte à générer des bulles réactives de cavitation telles que l'espèce chimique est générée en présence desdites bulles additionnelles et réagit avec le matériau à graver en produisant un composé soluble ou un précipité.
