Procédé de correction des effets de proximité électronique utilisant des fonctions de diffusion de type Voigt
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | https://hal.science/hal-00807433 |
| Author | Tortai, J.H, Schiavone, P., Figueiro, T., Jedidi, N. |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 11, 2026, 17:15 (UTC) |
| Created | May 11, 2026, 17:15 (UTC) |
| Identifier | Patent N°: 12 53389 |
| Language | fr |
| contributor | Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM) ; Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| creator | Tortai, J.H |
| date | 2012-04-12T00:00:00 |
| harvest_object_id | 7b625260-fc34-4df6-b97d-284b14bd8dc6 |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-09-27T00:00:00 |
| set_spec | type:PATENT |