Diagnostic in TCOs CVD processes by IR pyrometry

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Source ISSN: 0040-6090
Author Maury, Francis, Duminica, Florin-Daniel
Maintainer CCSD
Last Updated May 11, 2026, 21:20 (UTC)
Created May 11, 2026, 21:20 (UTC)
Identifier hal-00806193
Language en
Rights https://about.hal.science/hal-authorisation-v1/
contributor Centre interuniversitaire de recherche et d'ingénierie des matériaux (CIRIMAT) ; Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3) ; Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Institut Universitaire de Technologie - Paul Sabatier (IUT Toulouse Auch Castres) ; Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3) ; Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP) ; Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)
creator Maury, Francis
date 2007-10-15T00:00:00
harvest_object_id 926b137e-cc20-452f-9fc2-fa43892dcb54
harvest_source_id 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657
harvest_source_title test moissonnage SELUNE
metadata_modified 2026-04-16T00:00:00
relation info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1016/j.tsf.2007.04.007
set_spec type:ART