Wafer-level BCB cap packaging of integrated MEMS switches with MMIC
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | Proceedings of 60th IEEE MTT-S International Microwave Symposium, IMS 2012 |
| Author | Seok, S., Kim, J.G., Fryziel, M., Rolland, N., Rolland, P.A., Maher, H., Simon, W., Baggen, R. |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 12, 2026, 15:59 (UTC) |
| Created | May 12, 2026, 15:59 (UTC) |
| Identifier | hal-00801069 |
| Language | en |
| contributor | Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF) |
| coverage | Montréal, Canada |
| creator | Seok, S. |
| date | 2012-05-12T00:00:00 |
| harvest_object_id | 35122e10-6f79-4fbe-9cc0-d68a1a818940 |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2024-01-24T00:00:00 |
| relation | info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1109/MWSYM.2012.6258270 |
| set_spec | type:COMM |