Résonateurs MEMS à base d'hétérostructure AlGaN/GaN
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | https://hal.science/hal-00799294 |
| Author | Ben Amar, Achraf |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 13, 2026, 01:23 (UTC) |
| Created | May 13, 2026, 01:23 (UTC) |
| Identifier | hal-00799294 |
| Language | fr |
| contributor | Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF) |
| creator | Ben Amar, Achraf |
| date | 2012-05-13T00:00:00 |
| harvest_object_id | 92a9b9c4-f9a5-484c-bc3e-1e32973c7558 |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2024-01-24T00:00:00 |
| set_spec | type:OTHER |