Toward fast calibration of global drift in scanning electron microscopes with respect to time and magnification.

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Source ISSN: 1559-9612
Author Malti, Abed Choaib, Dembélé, Sounkalo, Le Fort-Piat, Nadine, Arnoult, Claire, Marturi, Naresh
Maintainer CCSD
Last Updated May 13, 2026, 03:11 (UTC)
Created May 13, 2026, 03:11 (UTC)
Identifier hal-00799099
Language en
Rights https://about.hal.science/hal-authorisation-v1/
contributor Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST) ; Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Marie et Louis Pasteur (UMLP) ; Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)
creator Malti, Abed Choaib
date 2012-03-13T00:00:00
harvest_object_id 6250f5d9-ef82-4eb5-986d-5aa9ef4b6569
harvest_source_id 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657
harvest_source_title test moissonnage SELUNE
metadata_modified 2026-05-13T00:00:00
relation info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1080/15599612.2012.663462
set_spec type:ART