A thermochemical process using expanding plasma for nitriding thin molybdenum films at low temperature
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Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | Engineering |
| Author | Jauberteau, Isabelle, Jauberteau, Jean-Louis, Touimi, Said, Merle-Méjean, Thérèse, Weber, Sébastien J., Bessaudou, Annie |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 15, 2026, 11:38 (UTC) |
| Created | May 15, 2026, 11:38 (UTC) |
| Identifier | hal-00771768 |
| Language | en |
| contributor | Axe 2 : procédés de traitements de surface ; Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS) ; Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM) ; Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM) ; Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| creator | Jauberteau, Isabelle |
| date | 2012-05-15T00:00:00 |
| harvest_object_id | d84e8cd5-9022-4b7f-b8ef-9b3bbb617a73 |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2024-06-04T00:00:00 |
| relation | info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.4236/eng.2012.412109 |
| set_spec | type:ART |