Tailoring the mechanical properties of SiOxHyCz films deposited by atmospheric pressure microwave plasma torch with a Rechtschaffner design of experiments : a pragmatic statistical approach

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Source ISSN: 0927-0256
Author Landreau, Xavier, Chagnon, Pierre, Dublanche-Tixier, Christelle, Jaoul, Cédric, Tristant, Pascal
Maintainer CCSD
Last Updated May 18, 2026, 22:23 (UTC)
Created May 18, 2026, 22:23 (UTC)
Identifier hal-00697147
Language en
contributor Axe 2 : procédés de traitements de surface ; Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS) ; Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM) ; Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM) ; Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
creator Landreau, Xavier
date 2012-05-18T00:00:00
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harvest_source_title test moissonnage SELUNE
metadata_modified 2024-07-15T00:00:00
relation info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1016/j.commatsci.2012.03.004
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