Effect of deposition reactive gas ratio, RF power and substrate temperature on the charging/discharging processes in PECVD silicon nitride films based on induced surface potential and adhesive force measurements using atomic force microscopy
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | ISSN: 1057-7157 |
| Author | Zaghloul, Heiba, Papaioannou, George, Bhushan, Bharat, Wang, Haixia, Coccetti, Fabio, Pons, Patrick, Plana, Robert |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 28, 2026, 17:41 (UTC) |
| Created | May 28, 2026, 17:41 (UTC) |
| Identifier | hal-00670055 |
| Language | en |
| Rights | https://about.hal.science/hal-authorisation-v1/ |
| contributor | Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil (LAAS-MINC) ; Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS) ; Université Toulouse Capitole (UT Capitole) ; Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J) ; Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3) ; Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP) ; Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole) ; Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J) ; Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3) ; Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP) ; Communauté d'universités et établissements de Toulouse (Comue de Toulouse) |
| creator | Zaghloul, Heiba |
| date | 2011-10-06T00:00:00 |
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| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-10-22T00:00:00 |
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