Evaluation of the mechanical properties of square membranes prestressed by PECVD silicone oxynitride thin films
Data and Resources
Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | Proc. of SPIE, SPIE Annual Meeting 2004, Interferometry XII : Applications, 4–5 august 2004, tome 5532 |
| Author | Jozwik, M., Gorecki, C., Delobelle, P., Sabac, A., Kujawinska, M. |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 6, 2026, 07:26 (UTC) |
| Created | May 6, 2026, 07:26 (UTC) |
| Identifier | hal-00094984 |
| Language | en |
| contributor | Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST) ; Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC) ; Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC) |
| creator | Jozwik, M. |
| date | 2004-05-06T00:00:00 |
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| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-02-18T00:00:00 |
| set_spec | type:COMM |