Multifunctional interferometric platform for on-chip testing the micromechanical properties of MEMS/MOEMS
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Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | Proceedings SPIE Photonics West MF 2004 : Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS III, Micromachining and Microfabrication, tome 5343 |
| Author | Gorecki, C., Jozwik, M., Salbut, L. |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 6, 2026, 07:48 (UTC) |
| Created | May 6, 2026, 07:48 (UTC) |
| Identifier | hal-00094931 |
| Language | en |
| contributor | Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST) ; Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC) ; Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC) |
| creator | Gorecki, C. |
| date | 2004-05-06T00:00:00 |
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| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-02-18T00:00:00 |
| set_spec | type:COMM |