Silicon oxynitride waveguides developed for opto–mechanical sensing functions
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Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | Proc. SPIE Photonics Fabrication Europe, Integrated Optical Devices : Fabrication and Testing, tome 4944 |
| Author | Sabac, A., Jozwik, M., Nieradko, L., Gorecki, C. |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 6, 2026, 17:20 (UTC) |
| Created | May 6, 2026, 17:20 (UTC) |
| Identifier | hal-00094547 |
| Language | en |
| contributor | Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST) ; Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC) ; Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC) |
| creator | Sabac, A. |
| date | 2003-05-06T00:00:00 |
| harvest_object_id | c1fe9099-5a74-4504-be4d-286aad1c0b66 |
| harvest_source_id | 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657 |
| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-02-18T00:00:00 |
| set_spec | type:COMM |