Integrated Optomechanical sensor for in situ characterization of MEMS : the implementing of a readout architecture
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Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | Proc. of SPIE Optical Metrology, tome 5145 |
| Author | Gorecki, C., Sabac, A., Bey, P., Gut, K., Jacobelli, A., Dean, T. |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 7, 2026, 00:42 (UTC) |
| Created | May 7, 2026, 00:42 (UTC) |
| Identifier | hal-00094424 |
| Language | en |
| contributor | Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST) ; Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC) ; Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC) |
| creator | Gorecki, C. |
| date | 2003-05-07T00:00:00 |
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| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-02-18T00:00:00 |
| set_spec | type:COMM |