Nanostructuration using focused ion beam. Application in Nano- Optics and Micro-Systems
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Additional Info
| Field | Value |
|---|---|
| Source | LEA, Highlights in Microtechnology (Neuchâtel-Besançon) |
| Author | Spajer, M. |
| Maintainer | CCSD |
| Last Updated | May 7, 2026, 07:52 (UTC) |
| Created | May 7, 2026, 07:52 (UTC) |
| Identifier | hal-00093419 |
| Language | en |
| contributor | Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST) ; Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC) ; Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC) |
| coverage | Neuchâtel-Besançon, France |
| creator | Spajer, M. |
| date | 2004-05-07T00:00:00 |
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| harvest_source_title | test moissonnage SELUNE |
| metadata_modified | 2025-02-18T00:00:00 |
| set_spec | type:COMM |