Sensing sensibility of surface micromachined suspended gate polysilicon thin film transistors

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Source ISSN: 0925-4005
Author Mahfoz-Kotb, H., Salaün, Anne-Claire, Bendriaa, F., Le Bihan, France, Mohammed-Brahim, Tayeb, Morante, J.R.
Maintainer CCSD
Last Updated May 9, 2026, 22:41 (UTC)
Created May 9, 2026, 22:41 (UTC)
Identifier hal-00085655
Language en
contributor Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes (IETR) ; Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Ecole Supérieure d'Electricité - SUPELEC (FRANCE)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
creator Mahfoz-Kotb, H.
date 2006-10-25T00:00:00
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metadata_modified 2025-12-08T00:00:00
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