Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate

P. Salzenstein, O. Dupuis, M. Hélal, E. Lheurette, O. Vanbésien, P. Mounaix and D. Lippens, "Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate", Electronics Letters, 25th April 1996, 32, N°9, pp. 821-82

Data and Resources

Additional Info

Field Value
Source ISSN: 0013-5194
Author Salzenstein, Patrice, Dupuis, Olivier, Helal, Mohamed, Lheurette, Eric, Vanbésien, Olivier, Mounaix, Patrick, Lippens, Didier
Maintainer CCSD
Last Updated May 29, 2026, 10:28 (UTC)
Created May 29, 2026, 10:28 (UTC)
Identifier hal-00076886
Language en
Rights https://about.hal.science/hal-authorisation-v1/
contributor Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
creator Salzenstein, Patrice
date 1996-05-29T00:00:00
harvest_object_id e1e90b97-21e1-4c65-a157-f4badbeb7a2b
harvest_source_id 3374d638-d20b-4672-ba96-a23232d55657
harvest_source_title test moissonnage SELUNE
metadata_modified 2024-01-24T00:00:00
set_spec type:ART