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<https://rec.harvest-normandie.data4citizen.com/dataset/oai-hal-hal-00985780v1> a dcat:Dataset ;
    dct:description """
              Procédé de lithographie électronique pour la réalisation de dispositifs incluant des objets de dimensions micrométriques ou nanométriques déposés ou intégrés sur un substrat, comportant : a) le dépôt d'une couche de résine au-dessus d'une surface dudit substrat; b) l'insolation de la résine par balayage d'un faisceau d'électrons pour libérer sélectivement des régions prédéfinies de la résine; c) le développement de la résine insolée pour libérer sélectivement des régions prédéfinies de ladite surface; et d) la fabrication du dispositif par gravure et/ou dépôt de matière à travers le masque de résine ainsi obtenu; caractérisé en ce qu'il comporte également, après dépôt de la résine mais préalablement à son insolation, l'acquisition d'une image dudit objet obtenue par balayage de la surface du substrat par un faisceau d'électrons à une dose insuffisante pour insoler la résine, et par détection de la cathodoluminescence ainsi induite; ladite image étant utilisée pour le pilotage du faisceau d'électrons lors de ladite étape d'insolation.
            """ ;
    dct:identifier "Patent N°: WO2010106248 A1" ;
    dct:issued "2026-05-05T12:30:48.720171"^^xsd:dateTime ;
    dct:language "fr" ;
    dct:modified "2026-05-05T12:30:48.720175"^^xsd:dateTime ;
    dct:publisher <https://rec.harvest-normandie.data4citizen.com/organization/cce9db95-46d9-4dc2-84b6-764215d0a002> ;
    dct:title "Procédé de lithographie électronique a imagerie de cathodoluminescence" ;
    dcat:contactPoint [ a vcard:Organization ;
            vcard:fn "CCSD" ] ;
    dcat:distribution <https://rec.harvest-normandie.data4citizen.com/dataset/oai-hal-hal-00985780v1/resource/75a010e9-63dc-40fb-9a06-c9229e469923> ;
    dcat:keyword "cathodoluminescence",
        "h01j37317",
        "infoeu-reposemanticspatent",
        "lithographie-electronique",
        "patents",
        "spinanoengineering-sciences-physicsmicro-and-nanotechnologiesmicroelectronics" ;
    dcat:landingPage <https://hal.science/hal-00985780> .

<https://rec.harvest-normandie.data4citizen.com/dataset/oai-hal-hal-00985780v1/resource/75a010e9-63dc-40fb-9a06-c9229e469923> a dcat:Distribution ;
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    dct:issued "2026-05-05T12:30:48.721247"^^xsd:dateTime ;
    dct:modified "2026-05-05T12:30:48.711085"^^xsd:dateTime ;
    dct:title "Procédé de lithographie électronique a imagerie de cathodoluminescence" ;
    dcat:accessURL <https://hal.science/hal-00985780> .

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