Gravure de nanostructures sub-10nm à travers des masques de copolymères à blocs à l'aide de plasmas pulsés
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issued: 2026-05-06T07:24:01.099304
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landing page: Journées du réseau plasma froid

Gravure de nanostructures sub-10nm à travers des masques de copolymères à blocs à l'aide de plasmas pulsés
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